使用有助于最大限度减少污染的材料至关重要。因此，半导体产业依赖恒氟隆™ 氟聚合物用于湿式加工设备、流体输送系统和晶圆处理工具。 恒氟隆™ 氟聚合物用于过程的流体处理部分，其中使用的超纯类型具有极低的可浸出含量，可承受蚀刻过程中使用的刺激性化学物质。减少颗粒污染、金属污染物以及密封件劣化引起的排气是半导体制造商的主要目标。