半導體產業依賴精密工藝,需要超潔淨的製造環境,因為它對污染的容忍度非常低。因此,使用有助於最大限度減少污染的材料至關重要。因此,半導體產業依賴 Everflon™ 氟聚合物用於濕式加工設備、流體輸送系統和晶圓處理工具。 Everflon™ 氟聚合物用於製程的流體處理部分,其中使用的超純類型具有非常低的可浸出含量,可承受蝕刻過程中使用的刺激性化學物質。減少顆粒污染、金屬污染物以及密封件劣化引起的排氣是半導體製造商的主要目標。
還需要高純度 PFA 來保持製造過程中使用的流體超純。由於半導體製造的產量更高,它允許使用更大的晶圓,從而不斷改進且價格實惠的微晶片和 LED。
此外,由於需要在加工區域保持清潔的氣氛,因此需要使用基於Everflon™ 氟聚合物薄膜的高性能過濾器,從而最大限度地減少顆粒物、化學物質和金屬(例如來自管道或其他設備的污染)的污染。半導體製造所需的超純水的管道是使用由氟聚合物(例如 PVDF)製成或塗覆的管道、接頭和加工管進行的。對於半導體製造來說,清潔度要求與惡劣條件(極端溫度、真空、高強度等離子體、刺激性化學品)相結合通常意味著密封、傳熱和泵浦潤滑應用需要含氟聚合物。
最後,Everflon™ 樹脂和塗料可確保通訊設備(即蜂巢式塔、佈線)實現 5G 所需的速度、容量和低延遲。氟聚合物也可以用於蝕刻設備的密封件中,以及作為光刻處理中光掩模上的保護膜。