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半导体行业依赖于精密工艺,并且由于其对污染的耐受性极低,因此需要超洁净的生产环境。因此,使用有助于最大程度减少污染的材料至关重要。因此,半导体行业依赖于恒氟隆™氟聚合物用于湿法加工设备、流体输送系统和晶圆处理工具。恒氟隆™氟聚合物用于工艺的流体处理部分,其中采用的超纯类型材料具有极低的可浸出物含量,可以耐受蚀刻工艺中使用的刺激性化学品。减少颗粒物、金属污染物以及密封失效引起的气体排放是半导体制造商的主要目标。 |
还需要高纯度恒氟隆™ PFA 来保持制造过程中使用的流体的超纯度。它能够生产更大的晶圆,从而提高半导体制造的良率,生产出性能更佳、价格更实惠的微芯片和LED。 |
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恒氟隆™氟聚合物树脂和涂层可确保通信设备(例如,基站、电缆)达到 5G 所需的速度、容量和低延迟。恒氟隆™氟聚合物还可用于蚀刻设备的密封件,以及光刻工艺中光掩模的保护膜。 |
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